参考价栻/p>面议
型号
垂直氧化炈/span>品牌
华旗科技产地
山东样本
暂无非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
看了垂直氧化炉的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
产品性能9/span>
*垂直结构??0?扸/p>
*稳定优良的成膜均匀性,重复性好
*微环境低氧控制先进技?/p>
*硅片颗粒度控制稳定,国际标准
*多工艺选择,模块化,操作便?/p>
*全自动流程,盒对盒,AGV对接
*高集成度,符合SECS?HSMS/GEM等标凅/p>
配套工艺9/p>
*氧化:干?湿氧(DCE, HCL),氮、氢退火,合金、固化,快速热退?/p>
*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG
*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...
暂无数据