参考价栻/p>面议
型号
垂直氧化炉?寷/span>品牌
华旗科技产地
山东样本
暂无金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>氧气
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
非金属电热元件:
其他虚拟号将 180 秒后失效
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垂直氧化系统用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域,6"?"晶圆的氧化、合金、退火等工艺、/p>
产品性能9/p>
*垂直结构,高效产能,150?扸/p>
*稳定优良的成膜均匀性,重复性好
*微环境低氧控制先进技?/p>
*硅片颗粒度控制稳定,国际标准
*全自动流程,盒对盒,AGV对接
配套工艺9/p>
*氧化:干?湿氧(DCE, HCL(/p>
*氮、氢退火,烧结、合金,固化筈/p>
*快速热退?/p>
暂无数据