出口直径(mm):
-进口直径(mm):
-泵轴位置9/p>其他
驱动方式9/p>其他
输送物料:
-连接方式9/p>其他
材质9/p>其他
口径9/p>-
压力9/p>-
设计标准9/p>-
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特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气、/p>
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀?/p>
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度、/p>
选购仵/p>
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器、/p>
用逓/p>
?nbsp; 活性气体(CVD、刻蚀等)、/p>
?nbsp; 排出非活性气体(溅射镀膜?nbsp; 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)、/p>
?nbsp; 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等(/p>
?nbsp; 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)、/p>
?nbsp; 冷冻干燥等水蒸气排气、/p>
暂无数据