看了W-180A-10K 微波等离子化学气相沉积系统的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
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系统参数9/span>
型号 | W-180系列 | |
供电电源 | AC380±10% 三相五线?nbsp;50Hz/60Hz | |
系统总功玆/span> | 14KW | |
微波输出功率 | 2?0KW | |
微波工作频率 | 2.45GHz | |
反应腓/span> | 不锈钢谐振腔 | |
整机真空气密?/span> | ?.33×10-10 Pa·m3/s (?×10-9 Torr L/s(/span> | |
沉积台类垊/span> | 水冷式沉积台 | |
有效沉积面积 | **沉积面积Ф?英吋?6mm(/span> | |
工作压力范围 | 1?2Kpa ?0Torr?20Torr(/span> | |
自动压力控制精度 | ±15 Pa (?.12 Torr) | |
真空泵抽逞/span> | 旋转真空油泵?0m3/h(/span> | |
标准气路 | 五路MFC气路(可选配(/span> | |
微波泄漏功率密度 | ?mw/cm2 | |
控制系统 | PDS-MPCVD控制系统 | |
观察窖/span> | ICF70 4个,ICF34 4?/span> | |
运行工作环境 | 恒温20?24ℂbr/>相对湿度20%~70%(无凝露、无腐蚀性气体) | |
冷却水流野/span> | ?1 L/min流量可调 | |
系统重量 | 500±5KG |
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