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品牌

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产地

广东

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模组化机台设计能够针对客户的需求做设计：�/p>

射频功率设计，使反应物能在低温的状态下达到高速率的沉积，进而提高产能；

先进性：

具有多站式（Multi-Stantion）设计，能够实现高重复性，使薄膜沉积的更加均匀：�/p>

优化RF功率，使薄膜应力及反射率达到**数倻�/p>

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