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机台针对 4 寸晶圆后端制程设计，用于单片清洗、/span>
机台为半自动机台，人工将晶圆放置 Chuck 上后，机台自动完成工艺过程，再由人工收回晶圆、/span>
晶圆通过真空吸附 Chuck 上，电机带动晶圆做离心式旋转，同时配合药液完成清洗工艺、/span>
**空载转速： 2000 rpm：/span>
*小调整量?rpm：/span>
转速精度： ±2rpm?0-3000rpm（/span>
颗粒：直径＞0.5um，数量＜35ea：/span>
正面无沾污、印迹、划伤等外观异常
清洗时间?0s（根据清洗循环次数和效果决定（/span>
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