SCREEN二手清洗设备WS-820L，针�?英寸晶圆的高通量批量清洗系统可实现灵活的生产线配

特点９�/span>

1.传输类型

选择 WS-820L 用于 200 毫米晶圆并进行无载体转移处理、�/span>

2. 灵活的设讠�/span>

系统可以根据应用自由配置。处理槽配置*多可包含 13 个槽、�/span>

3. 高吞吐量

可以安装多个浴槽�?多可以安装六个传送机器人，以确保高吞吐量、�/span>

4. 高品质加�?/span>

优化的加工槽设计、严格的化学品管理和清洁的干燥装置有助于稳定、高质量的加工、�/span>

5. 丰富的周边设备阵宸�/span>

提供多种外围设备，包括晶圆传送单元和盒式储料器、�/span>

6. 水印的预阱�/span>

可安装低压干燥装置以减少水印并确保干燥清�?/span>