看了超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列的用户又看了
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现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100、/span>
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪，可以获得高稳定的束流、/span>
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220? kV条件下分辨率提高?.7 nm，Regulus8100的分辨率提高?.8 nm、/span>
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去?00万倍提升到200万倍、/span>
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器?*性能、/span>
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析?*性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仒/span>
运用能量过滤?选配)，可观察到多种成分对比度
| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次电子分辨玆/span> | 0.7 nm （加速电?5 kV（/span> 0.8 nm （着陆电? kV（/span>*3 |
0.6 nm（加速电 15 kV（/span> 0.7 nm（着陆电 1 kV（/span>*3 |
|||||
| 着陆电厊/span> | 0.1? kV | 0.01?0 kV | |||||
| 放大倍率 | 20?,000,000倌/span>*4 | 20?,000,000倌/span>*4 | |||||
| 样品?/span> | 样品台控刵/span> | 3轴马达台（可?轴马达台（/span> | 5轴马达驱?/span> | ||||
| 移动范围 | X | 0?0 mm | 0?0 mm | 0?10 mm | 0?10 mm | ||
| Y | 0?0 mm | 0?0 mm | 0?10 mm | 0?0 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5?0° | ||||||
| Z | 1.5?0 mm | 1.5?0 mm | |||||
| 再现?/span> | - | - | - | ±0.5 µm以下含?.5 µm | |||
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移动?/p>
工商已核宝/p>
