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佳能二手i-line光刻机CANON FPA 3000 I4品牌
佳鼎半导佒/span>产地
山东样本
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Magnification |
5X |
Resolution |
0.35um |
Wafer Size |
8" SEMI (OF) |
Wafer Loader |
TYPE6-L |
Reticle Size |
6" |
Reticle Changer |
Canon standard Type |
Chamber Type |
CD-80 |
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