看了DH5S—MPCVD半导体级MPCVD设备的用户又看了
虚拟号将180秒后失效
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常规配置及参?/th> | |
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电源输入: | 三相 380V (±10%), 15KVA |
微波电源功率: | 6KW?.45GHz(/td> |
样品?span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">: | 2英寸可升降水冷台 |
腔体生长压力: | 10-200Torr |
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