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采用新型微波反应腔,有效沉积面积大而均匀;掀盖式腔体开合,便利操作及腔体清洁,生产效率高,更加适用于批量化工业产品的制备;
定制类型
1.偏压垊/span>MPCVD设备,在标准型设备的基础上(无任何功能删减),可根据客户要求提供不同偏压范围的定制型MPCVD设备、/span>
2.微波频率2450Mhz?*微波输入功率15kw型MPCVD设备,可根据客户要求,提供高功率MPCVD设备、/span>
3.客户提出的其他定制需求、/span>
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