采用新型微波反应腔，有效沉积面积大而均匀；掀盖式腔体开合，便利操作及腔体清洁，生产效率高，更加适用于批量化工业产品的制备；该类型设备性能稳定可靠，具有高度的稳定性和重复性，专为高品质金刚石产品制备而设计、�/p>

产品特�?/p>

1.一体式不锈钢腔体，等离子体上方无任何环形缝隙、�/p>

2.**微波输入功率6kw，微波反射功率＜20w、�/p>

3.独特的腔体真空密封，设备极限真空�?.5pa，腔体压升率�?pa/h（保压前2小时）、�/p>

4.有效沉积直径范围60-75mm、�/p>

5.采用独特的沉积台温控结构，产品制备周期内无需调节腔压、微波输入功率，即可实现金刚石控温，有效的保证了产品在不同生产周期内的质量一致性、�/p>

6.高度自动化，一键启动完成全周期生产、�/p>