看了TFC-6500B化学气相沉积(MPCVD)设备的用户又看亅/p>
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TFC-6500B,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备是*** CVD 系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强 波等离子体(MPCVD)综合设备、/span>
产品特?/p>
* 高纯高真空不锈钢腔体(无硅污染 )
?5%功率高效稳定运行
★可单次生产7*7 mm单晶毛坯21粑/p>
水冷却腔?无风冷噪?
可均匀生产2 inc多晶
产品净度等级可达VVS?/p>
*生长机台可自动调节范围达15MM
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