非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>铁铬铝丝
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>±1ℂ/span>
最高温度：
1200ℂ/span>额定温度９/p>?100ℂ/span>
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一、设备组戏/strong>
这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统、/span>
1、开启式加热炈/span>
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶?点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管、/span>
2、气路系绞/span>
可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单?路过鼓泡器后进入反应管内、/span>
3、射频组仵/span>
1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区、/span>
4 智能控制系统
采用智能PID模糊控制?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、/span>
二、技术参?/strong>
**温度 |
1200ℂ/span> |
持续工作温度 |
?100ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
电阻东/span> |
热电偵/span> |
K垊/span> |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能，人机界面加PLC控制?5寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪和软件实现双控 |
加热总功玆/span> |
?5KW |
加热区尺寷/span> |
300+300+300mm |
射频功率 |
1000W |
设备尺寸 |
2550*850*1600mm |
设备重量 |
?00KG |
暂无数据
后摩尔定律时代推动了碳基电子晶体管的快速发展?G通信和云计算促进了基于碳纳米管的场效应晶体管在电子设备中的应用。本文将重点关注碳基电子领域的最新研究热点，包括高频晶体管、生物医学传感器和制动器、脑朹/p>
智能型PECVD系统的工作原理介绍？智能型PECVD系统的使用方法？智能型PECVD系统多少钱一台？智能型PECVD系统使用的注意事顸/li>智能型PECVD系统的说明书有吗＞/li>智能型PECVD系统的操作规程有吗？智能型PECVD系统的报价含票含运费吗？智能型PECVD系统有现货吗＞/li>智能型PECVD系统包安装吗＞/li>
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工商已核宝/p>
