非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>铁铬铝丝
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>±5
最高温度:
1050额定温度9/p>800
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一、设备简今/span>
碳基前驱体添加到流化床沉积炉内,通入高温气体,硅烷高温裂解,沉积在多孔碳的表面,得到包覆改性物料,相比传统CVD炉气固相接触充分,包覆硅时包覆层比传统工艺更均匀,反应区的温度控制均匀,温度精?/span>一致性更好、/span>
二、技术参?/span>
1.载气9/span>N2、H2、Ar
2.反应气体:CH4、C2H2、C3H6?/span>SiH4筈/span>
3.每批处理量:10kg≤Q≣/span>150kg
4.操作温度9/span>?00ℂ/span>
5.操作压力9/span>?0Kpa
6.卸料温度9/span>?00ℂ/span>
7.氧指数:?0ppm
暂无数据