金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>空气
温控精度9/p>⑪ (恒温)±1℃,升温速率?0?分钟
最高温度:
800额定温度9/p>500~800ℂ/span>
非金属电热元件:
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本设备主要用于半导体行业。设夆/span>加热区域采用三段温区独立控制+/span>工作温度区间丹/span>500~800?加热元件为电阻丝加热。炉管尺寸为φ220*1300,采用N型热电偶测温、/span>
炉架为整个炉体和炉管等部分提供支撑。整体采用方管焊接而成,保证足够的强度,长旵/span>间不变形,整体高?.4m,?.整个炉体安装中有防震要求,严格控制退火过程的震动:/span>
加热单元:加热元件采用电阻丝加热:/span>
保温层为优质高纯氧化铝多晶纤维材质,采用日本进口真空吸附成型技术固化成型;
整个炉体由多个加热单元拼接而成,共分成3个控温区:/span>控温热电偶丝用头部带凹槽的陶瓷保护管,可保护热电偶头??个加热单?根控热电偶;
控温采用欧陆2604控温模块:/span>
炉架上放置炉体,炉壳,石英管等设备、/span>55m,宼/span>0.75m,外观简洁美观;炉壳为长方体结构,主体结构采用方管焊接而成,保证整个炉体有足够的强度,炉壳四周装有封板,外观简洁美观;
整个炉体安装中有防震要求,严格控制退火过稊/span>的震动、/span>
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