结构特点Features

� 金属膜片密封 ，提高产品的洁净度与泄漏玆�/span>

� 流道内部电解抛光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin

� 母体螺纹�?/4"JFS接头

� 内部容积�?.49in³

� ＊大流量：标凅�30 SLPM,高流� HF:120 SLPM

� 设计验证压力：＊大额定压力的150%

� 设计爆炸压力：＊大额定压力的300%

� 100%出厂氦气测试

产品应用Product application

� 腐蚀性和特殊气体

� 半导体行丙�/span>

� 研究实验宣�/span>

� 化学工业

技术参�?/span>Specifications

� 母体 ：SS316L ，SS316L VIN/VAR ，Hastelloy®C22

� 阀座： PCTFE，Vespel®

� 膜片 ：SS316L，Hastelloy®C22合金

� 进气压力�?00, 3500psig

� 出气压力�?0,15,25, 50, 100, 150psig

� 工作温度：PCTFE�? 10℃至80� ( 14℉至176�?

Vespel®�? 26℃至177� ( 15℉至350�?

� 泄漏率：

内漏2x10-10 sccs He

外漏2x10-9 sccs He

� 流量参数：Cv =0. 09 HF Cv=0.15