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●重复定位精度高
●安全可靟br style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; padding: 0px; margin: 0px;"/>●模块化设计
●适用性广
| 外形尺寸:根据客户需求定刵/strong> | 重量:?5Kg | 法兰接口:CF35/CF63/CF100多种可逈/strong> |
| 开环重复定位精?±10μm | 闭环重复定位精度:±2μm | 限位响应:?0ms |
| 工作速度:?mm/s | 驱动行程:120mm或定刵/strong> | 靶数野 3个或定制 |
| 靶类垊矫正?YAG/OTR | 视场:30×30或定刵/strong> | 图像分辨玆20μm或定刵/strong> |
| 图像数据通讯:100M以太网通信 | 环境温度:-20°C~ 60°C | 真空参数:极限真空优于5.0X10-8Pa |
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