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1.提供先进的成套MPCVD气相沉积系统、/p>
2.系统核心器件电源、磁控管国产化，微波功率可到75kW、/p>
3.拥有CST、Comsol模拟仿真和大型工作站，可进行2450MHz?15MHz频段的腔体仿真优化和快速迭代升级、/p>
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