产品特点

� 超高纯度气体终端适用于所有气体输送系绞�/p>

100TG:�?0 slpm �?/4 " VFS（�/p>

200TG:�?00 slpm �?/8”VFS（�/p>

300TG:�?00slpm �?/2 " VFS（�/p>

� 控制精度髗�/p>

� 所有连接端口使用焊接或VFS接头

� 手动或气动隔膜阀选择

� 100%氦泄漏测诔�/p>

技术参�?/strong>

� 进气压力P1: 300 psig

� 出气压力P2: 30/60/100/150 psig

隔膜阀材质

� 母体: 316L

� 阀�? PCTFE

� 膜片: Elgiloy®

监管机构材质

� 母体: 316L / 316L secondary remelt

� 阀�? PCTFE

� 膜片: Hastelloy® C276

� 泄漏玆� (外部) 1x10^-9mbar I/s He

(内部) 1x10^-8mbar I/s He