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技术参?/strong>
| ?（/td> | 型号 | HMPS-2080SP |
| ?（/td> | 电源 | AC380±10% V 三相五线 50Hz，额定输入＜18KVA |
| ?（/td> | 微波输出功率 | 0.1~8kW 连续可调 |
| ?（/td> | 功率稳定?/td> | 1%（@稳态） |
| ?（/td> | 纹波 | ?% |
| ?（/td> | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| ?（/td> | 测温方式 | 红外300~1400ℂ/td> |
| ?（/td> | 极限真空?/td> | ?.7×10-3Torr |
| ?（/td> | 工作压力 | 5torr~225torr |
| ?0（/td> | 放电匹/td> | Φ?0mm |
| ?1（/td> | 均匀沉积匹/td> | ?8mm |
| ?2（/td> | 工作气体 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5?/p> |
| ?3（/td> | 氦质谱真空漏玆/td> | ?.0×10-9Pa·m3/s：/span> |
| ?4（/td> | 工作环境 | 温度15-40℃，相对湿度?0%，无腐蚀性气佒/td> |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
