参考价栻/p>面议
型号
W-180A-10K微波等离子化学气相沉积系绞/span>品牌
铂世先/span>产地
上海样本
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·系统参数9/span>
型号 | W-180系列 |
供电电源 | AC380±10% 三相五线?nbsp;50Hz/60Hz |
系统总功玆/span> | 14KW |
微波输出功率 | 2?0KW |
微波工作频率 | 2.45GHz |
反应腓/span> | 不锈钢谐振腔 |
整机真空气密?/span> | ?.33×10-10 Pa·m3/s (?×10-9 Torr L/s(/span> |
沉积台类垊/span> | 水冷式沉积台 |
有效沉积面积 | **沉积面积Ф?英吋?6mm(/span> |
工作压力范围 | 1?2Kpa ?0Torr?20Torr(/span> |
自动压力控制精度 | ±15 Pa (?.12 Torr) |
真空泵抽逞/span> | 旋转真空油泵?0m3/h(/span> |
标准气路 | 五路MFC气路(可选配(/span> |
微波泄漏功率密度 | ?mw/cm2 |
控制系统 | PDS-MPCVD控制系统 |
观察窖/span> | ICF70 4个,ICF34 4?/span> |
运行工作环境 | 恒温20?24ℂbr/>相对湿度20%~70%(无凝露、无腐蚀性气体) |
冷却水流野/span> | ?1 L/min流量可调 |
系统重量 | 500±5KG |
暂无数据