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该产品石英玻璃棒，石英玻璃片，经过开槽，焊接，磨砂等工艺加工制成。在半导体制造过程中，它用于承载和运输半导体wafer、芯片制造过程中的高温热处理工艺中，也用于燃烧化学蒸发、气相输运、淀积、扩散、蚀刻、退火等工序。石英舟具有高温耐腐蚀性能和良好的化学稳定性，能够承受高温高压环境，而且具有优异的热传导性能和热稳定性，可以保证热处理过程的高精度和高质量，从而获得更好的半导体产品质量、/p>
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