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| ?（/td> | 型号 | DM-8000 |
| ?（/td> | 电源 | AC380 V 三相五线 50Hz＋/td> |
| ?（/td> | 微波输出功率 | 8kW ?450MHz点频 |
| ?（/td> | 微波泄露 | ?mW/cm³@5cm |
| ?（/td> | 功率稳定?/td> | 1 %（@稳态） |
| ?（/td> | 有效沉积区域 | up to Φ 70 mm |
| ?（/td> | 样品台直徃/td> | Φ120mm |
| ?（/td> | 极限真空?/td> | ? ×1 0-1 P a |
| ?（/td> | 真空漏率 | ?x10-9Pa.m³/s |
| ?0（/td> | 单晶生长 | 生长速度10-15μm/H，单轮生长厚度≥1.6mm |
| ?1（/td> | 单晶质量 |
色度H，肉眼无瑕疵 |
| ?2（/td> | 气体种类 | 标配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可扩展??/td> |
| ?3（/td> | 压强控制范围 | 5-225 torr |
| ?4（/td> | 压强控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
| ?5（/td> | 冷却氳/td> | ?5L/Min |
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