微波功率容量大、功率密度高：�/span>

◅�/span>沉积面积大、速率快、质量高：�/span>

◅�/span>安全可靠，满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行；

◅�/span>第三代高稳定固态功率源，新型下馈式大容积碟形放电工作腔：�/span>

◅�/span>微波功率0.5~12kW连续可调，稳定度1%：�/span>

◅�/span>放电区Φ≥100mm；均匀沉积区Φ≥75mm：�/span>

◅�/span>工作气体：H2/CH4/N2/CO2戕�/span>O2戕�/span>Ar：�/span>

◅�/span>极限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s：�/span>

◅�/span>工作压力�?.1~30kPa；自动控制；

◅�/span>红外测温�?00~1800℃（双色）；

◅�/span>PLC�?5寸触摸屏多参数自动控制、�/span>