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◆微波反应腔新型设计,功率密度大、/p>
◆产品沉积速率快、沉积质量高、/p>
◆开关型微波电源,微波输出稳定性高、/p>
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的沉积,材质表面处理、低温氧化物的生长等、/p>
◆性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便、/p>
◆多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护、/p>
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