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◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长、/p>
◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等、/p>
◆第三代高稳定固态功率源；上馈式圆柱型放电腔：/p>
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产，材质表面处理、低温氧化物的生长等、/p>
◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便、/p>
◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护、/p>
| ?（/td> | 型号 | HMPS-2060SP |
| ?（/td> | 电源 | AC380±10% V 三相五线 50Hz，额定输入＜18KVA |
| ?（/td> | 微波输出功率 | 0.5~6kW 连续可调 |
| ?（/td> | 功率稳定?/td> | 1%（@稳态） |
| ?（/td> | 纹波 | ?% |
| ?（/td> | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| ?（/td> | 测温方式 | 红外300~1400ℂ/td> |
| ?（/td> | 极限真空?/td> | 6×10-6torr |
| ?（/td> | 腔体内工作压 | 7torr~250torr |
| ?0（/td> | 样品?/td> | Φ60mm |
| ?1（/td> | 样品台轴向调节范図/td> | 0-60mm |
| ?2（/td> | 工作气氛 | 五路（可用户定制（/td> |
| ?3（/td> | 微波泄漏?nbsp; | ?mW/cm2 |
| ?4（/td> | 工作环境 | 温度15-40℃，相对湿度?0%，无腐蚀性气佒/td> |
| ?5（/td> | 冷却氳/td> | ?7L/Min |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
