参考价栻/p>面议
型号
金刚石基氮化镒/span>品牌
化合积电产地
福建样本
暂无主成分含量(%):
-制作方法9/p>-
密度(kg/m³):
-纯度9/p>-
莫氏硬度9/p>-
白度9/p>-
目数9/p>-
品级9/p>-
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化合积电采用微波等离子体化学气相沉积设备,在50.8 mm(2英寸)硅基氮化镓HEMT上实?lt;10um厚度多晶金刚石材料的外延生长。采用扫描电子显微镜及X射线行射仪对金刚石薄膜的表面形貌、结晶质量以及晶粒取向进行表征测试,结果显示:样品表面形貌较为均匀,金刚石晶粒基本表现?111)面生长,具有较高晶面取向。在生长过程中有效避免了氮化?GaN)被氢等离子体刻蚀,使得金刚石镀膜前后氮化镓特性未发生明显变化、/p>
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