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技术参数:
输入电压 | AC220V±10%?0Hz |
工作电压 | DC2400V |
**功率(主机与机械泵) | 500W |
工作原理 | 直流溅射 |
可选靶杏/span> | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金屝/span> |
真空泴/span> | 两级直联旋片式真空泵 1L/s |
真空腓/span> | φ128×130mm |
样品?/span> | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整机尺寸(长×宽×高(/span> | 424×271×255(mm(/span> |
重量(主机) | 11 kg |
工作环境 | 温度 5?0℃,湿度<60% |
存储环境 | 温度-10~60℃,湿度<80% |
工作气体 | Air / Ar |
保护功能 | 过流、真空双保护 |
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