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技术参数：
1、真空度：极限真空度5*10-3Pa （不通氩气）：/span>
2?高压：（1?00~10000V：/span>
3、样品台可旋?span style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0); font-family: 微软雅黑;">：/span>
4、具有自保护功能：/span>
5、双离子枪可独立控制：/span>
6?/span>样品冷却：半导体冷却 选配件）、/span>
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