参考价栻/p>面议
型号
Radiation 全光谱椭偏仪品牌
质朋仪器产地
英国样本
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规格 |
技术指栆/span> |
衬底类型 |
透明或半透明衬底 |
光源 |
氙灯 |
光源寿命 |
>8760H |
光谱范围 |
300-1000nm |
入射觑/span> |
70度（40?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">-90 毎span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">5度可调） |
光斑直径 |
100x120μm(Min80x100um) |
测量时间（不对焦（/span> |
<2S(单层模型),<?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">6s（多层模型） |
膜厚测量范围（单层膜（/span> |
1nm-15μm |
对焦 |
自动讯号对焦 |
膜厚测量精度 |
<0.5nm(基于标片) |
折射率测量精?/span> |
<0.005(基于标片) |
厚度重复性精度： |
<0.5A＇span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">1 sigma标准?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">,10times）（基于标准片） |
折射率重复性精度： |
<0.0005＇span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">1 sigma标准?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">,10times）（基于标准片） |
可测试膜层数野/span> |
?span style="padding: 0px;transform-style: flat;list-style: none">2屁/span> |
标片数量 |
2牆/span> |
暂无数据
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