参考价栻/p>面议
型号
CMP 抛光朹/span>品牌
铼铂机电产地
江苏样本
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主要技术参数: . 双工位,可同时抛光两?英寸晶圆,定制不同的 光头,可兼容6寸?寸?寸或更小尺寸晶圆的抛光; .具有定时功能,设定抛光工作时间,到点自动停机 .盘?-200rpm,缓启缓停,通过触控显示界面设定参数 控制转速,抛光盘具有水冷功能,能精确控制盘温; .配置两个蠕动泵,可精确控制送料均匀度; .抛光头转?-200rpm可调;摆动幅度?0mm可调,抛 光头通过压缩空气加压,0-5bar可调,根据需要可定制2 区或3区?区抛光头,不同区位可调节不同压力; .抛光工艺可以储存,工艺可保持一致性和重复?/span>
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