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1、技术指栆/span>
环境温度９/span>5~32ℂ/span>
空气相对湿度９/span>?5%
工作电压９/span>AC220V±10% 50/60HZ
系统整体极限真空度：5.0×10-5Pa
实验真空度：5.0×10-3Pa
连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s
2?/span>配置说明
2.1?/span>机械泵：
抽气速率９/span>30m³/H
容油量：1.9L
电机功率９/span>500W
极限压强９/span>5×10-1Pa
2.2?/span>分子泵：
抽气速率９/span>600L/S
极限压强９/span>6×10-7Pa
启动时间：＜2min
额定转速：4300?/span>/刅/span>
冷却方式：环境温?/span>5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷、/span>
2.3?/span>分子泵控制器９/span>
电压９/span>220V±22V
启动电流９/span>?A
输入频率９/span>47HZ?3HZ
**输出功率９/span>?50W
**加速电压：?0V
加速时间：?min
频率（双速）：高逞/span>705HZ±10HZ
低逞/span>430HZ±5HZ
2.4?/span>复合真空计：
测量路数９/span>2路（电阻规、电离规吃/span>1路）
工作模式：手?/span>/自动（可切换（/span>
电阻单元参数
规管型号９/span>ZJ-52T电阻觃/span>
测量范围９/span>1.0×105Pa~1.0×10-1Pa
有效范围９/span>2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
控制范围９/span>2.5×103Pa~5.0×10-1Pa
电离单元参数
规管型号９/span>ZJ-27电离觃/span>
可测范围９/span>5.0Pa~1.0×10-5Pa
有效范围９/span>1.0Pa~5.0×10-5Pa
控制范围９/span>1.0Pa~5.0×10-5Pa
规管除气方式：焦耳去氓/span>
控制方式：点动或区域控制/带掉电记必/span>
控制精度９/span>±1%
采样时间９/span>1S
电源９/span>220V±10% 50HZ
功耗：50W
使用环境温度９/span>0℃~45ℂ/span>
湿度９/span>?5%
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