质量流量控制�?/span>

工作温度�?~45ºC
**压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线�?±�?.5-1.5�?F.S

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一�?1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度�?~45 ºC
**压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线�?±�?.5-1.5�?F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一�? 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度:5~45 ºC
**压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线�?±�?.5-1.5�?F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一�? 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
**压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线�?±�?.5-1.5�?F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一�? 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
�?九路可按照客户要求定刵�/span>

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功率

23W

PLC触摸屎�/span>

·各通道的气路设定和查看都集中在一�?"的触摸屏�?nbsp;

·RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控刵�/span>

机械压力�?/span>

·有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

·量程:-0.1~0.15 MPa

针阀

316不锈钡�/span>

通气管道

·内部连接管道为Φ不锈钢�?nbsp;

·外部通气管道为Φ聚四氟箠�/span>

混气罏�/span>

Φ80X120mm

截止阀及配仵�/span>

·316不锈钢针阀

Φ6mm 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保朞�/span>

一年质保期，终身维抣�/span>