参考价栻/p>面议
型号
EVG 610光刻朹/span>品牌
亚科电子产地
北京样本
暂无误差率:
-分辨率:
-重现性:
-仪器原理9/p>其他
分散方式9/p>-
测量时间9/p>-
测量范围9/p>-
看了EVG 610光刻机的用户又看亅/p>
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产品简介:
EVG 610是一款入门级光刻机,支持接近式、软接触、硬接触、真空接?种曝光方式,可选配背面对准模块。也可用于键合对准及纳米压印光刻(NIL),是科研开发用户的理想选择、/p>
主要特点及参数:
·**支持8英寸?00mm)晶圅/p>
·顶部及底部对准:
顶部对准精度≤?.5μm
底部对准精度≤?μm
红外对准精度≤?μm(取决于衬底材料(/p>
键合对准精度≤?μm
纳米压印对准精度≤?μm
·支持汞灯或UV-LED光源
·自动楔形补偿程序
·可选配功能9/p>
键合对准
红外对准
纳米压印光刻(NIL(/p>
暂无数据