参考价栻/p>面议
型号
EVG GEMINI晶圆键合系统品牌
亚科电子产地
北京样本
暂无功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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产品简介：
EVG GEMINI是一款全自动多腔室晶圆键合工艺平台，实现了高程度的集成度和自动化，适用于大型量产、/p>
主要特点及参数：
·**支持12英寸?00mm）晶圅/p>
·*多兼?个键合腔室和6个预处理腔室
·兼容底部对准、红外对准以及SmartView对准
·可选配模块９/p>
低温等离子体活化
晶圆清洗
涂胶模块
UV固化模块
烘烤/冷却模块
对准验证模块
暂无数据
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