炉室资料Puller Data
坩埚直径 Crucible diameter�?8�? 22〝�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>单晶直径 Crystal diameter�?�? 8�?150-200mm)
装料� Charge size�?0-90kg
喉管直径 Throat Diameter�?4 �?356mm)
主炉膛内� Main furnace Diameter：￠1000mm
主炉膛高� Main furnace Height�?250mm
炉门开口尺� Pull Chamber Door Opening�?5”�?2”（380mm×2082mm（�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>主真空泵抽� Vacuum Pumps-Main�?21 cfm (6,260 l/min)
辅助真空泵抽� (Recommended) Aux�?0 cfm (1700 l/min)
排气方式 Exhaust：底排气 Exhaust end
副室类型 Deputy room type：全开� Full-door
炉盖类型 Lid Type：穹� Dome
磁场类型 Field type：勾型、水平型（可选） hook type, horizontal type (optional)
有导流筒提升、激光测距、CCD控径
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加� providing secondary feed

坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed� 0-10 in/hr (0-254mm/hr)
*快提升速度 Crucible Jog Speed� (>250mm/min)
行程 Stroke� 18�?457mm)
转� Rotation speed� 0-20 rpm(可�?

籼�/strong>晶驱动单佌�/strong>Crystal drive unit
提升速度 Lifting speed� 0-20 in/hr (0-508mm/hr)
快速提升速度 Seed Jod Speed� 20 in/min (508mm/min)
转� Rotation speed� 0-50 rpm(可�?

厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage� �?80V±10%
频率 （Frequency）：50/60 Hz
加热功率 (Heating Power）：IGBT 165KW底部加热50KW
环境温度（Ambient Temperature）：5�?0
相对湿度（Relative Humidity）：�?0%
入口�?*水温 (Maximum Inlet Temperature)�?7°F (25�?
*小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 l/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1kg/cm²)
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量 (Purge Flow)�?00 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力 Recommended Supply Pressure�?5 psi (5.3kg/cm²)
压缩空气（Air（�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>推荐压力 Recommended Supply Pressure�?0psi (6.3kg/cm²)

控制系统System Control
自动过程 Automatic process
标准PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
总高�?nbsp;(closed）：6433mm
�?nbsp;Width (W)�?200mm
�?nbsp;Depth (D)�?368mm