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碳化硅异型件
高强度、高致密度、硬度接近金刚石、耐磨损；
优秀的化学稳定性，能抵抗各种酸、碱及有机溶剂类的腐蚀：/p>
高导热率、低热膨胀系数、耐热冲击，并?低热变形：/p>
耐高?600摄氏度以上，具有优秀的抗氧化性能：/p>
电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；
高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形：/p>
全面的耐化学腐蚀能力
耐电浆轰击，特别适用于刻蚀设备：/p>
低密度、质量轻、/p>
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