品级９/p>工业?/span>
外观９/p>其他
有效物质含量９/p>-
执行质量标准９/p>-
密度(g/c?９/p>-
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适用范围９/p>
应用于第三代半导体材料碳化硅晶片的抛光工序，碳化硅材料具备超硬特性，常规氧化硅抛光液存在抛光效率慢的问题＋/p>
本产品在Si面碳化硅抛光上具有很好的表现，它有高效的去除速率，抛光后的碳化硅表面缺陷较少，同时在抛C面碳化硅
时亦可以获得良好的表面质量，从而确保被抛工件有较高的抛光效率及良品率，提高客户产品竞争力、/p>
主要技术指标：
抛光液参?/span> |
|
粒径D50 |
80-120 nm |
PH倻/span> |
2-3 |
固含野/span> |
5-8% |
颜色 |
紫红艱/span> |
包装 |
5KG/桵span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box;"> 20KG/桵/span> |
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