品级9/p>优级?/span>
外观9/p>液体
有效物质含量9/p>旟/span>
执行质量标准9/p>旟/span>
密度(g/c?9/p>旟/span>
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无锡吉致电子25年研发生?/strong>——碳化硅晶圆抛光?硅衬底SIC抛光?半导体抛光液/CMP化学机械抛光?硅衬底抛光液/slurry抛光涱/span>
产品简介:为电力电子器件及LED用碳化硅晶片的CMP化学机械平坦化配制的抛光液。CMP抛光液大大提高了碳化硅晶圆表面去除率和平坦化性能,提供了?77---06---168---670李)非常好的表面光洁?/span>
吉致电子碳化硅晶圆Slurry抛光液使用方法:
1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释、/span>
2.稀释后,粗抛时调节PH11左右,精抛时调节PH9.5左右。pH调节可以?0%的盐酸、醋酸、柠檬酸、KOH或氨水在充分搅拌下慢慢加入、/span>
3.循环抛光可以用原液、/span>
吉致电子碳化硅晶圆Slurry抛光液储存方法:
1.贮存时应避免曝晒,贮存温度为5-35ℂ/span>
2.低于0℃以上储存,防止结冰,在无度以下因产生不可再分散结块而失效、/span>
3.避免敞口长期与空气接触、/span>
吉致电子碳化硅晶圆Slurry抛光液价格:
吉致电子的碳化硅晶圆抛光液生产技术是引进国外生产技术和设备,特殊化学配方制备而成。吉致电子抛光液品质可以媲美进口同类产品、/span>
本土化生产使得吉致电子CMP抛光液产品交货周期快,品质好,抛光液价格亲民、/span>
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