1. 主体：全封闭框架结构，真空室为前开门方式，机柜和主机为一体式机构。采用优�?Cr18Ni9不锈钢材料（SUS304），箱体尺寸为不小于φ350X400mm。设置DN100观察窗口，位于真空腔体门正前方，骨架默认白色（或铝合金本色），门板为白色，四只脚轮，可固定，可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报警锁定安全装置，能够防止停水后出现安全隐患、�/p>

2. 真空系统９�/p>

2.1极限真空度：�?.63×10�?Pa（空载、经充分烘烤除气并充干燥氮气）、�/p>

2.2真空配置：高速直联旋片泵一台，抽速大�?L/S，超高分子泵一台，抽�?00L/s、�/p>

2.3真空测量：两路电阻规，一路电离规；对真空室和真空管道分别精确监控，带数据通讯、�/p>

3. 工件架系统：单工�?英寸工件盘，工件盘可加热�?00摄氏度，工件架真空室底部安装，便于更换基片，转�?�?0rpm、�/p>

4. 照明装置：照明装�?套、�/p>

5. 磁控溅射系统：配�?-3个�?0mm磁控靶，安装于真空室顶部，向下溅射成膜、�/p>

6.充气系统：二路分别配置质量流量控制器，分别为0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，准确度�?% F.S，线性�?.5 % F.S，重复精度�?.2% F.S、�/p>

7.循环冷却水路：配置冷水机组与空压机、�/p>

8.电气控制系统：采用功能化模块设计方式，匹配西门子控制单元和MCGS人机界面，实现真空系统的自动控制，基本工作单元的控制，安全报警及故障信息显示，并通过文字方式提示，软件的功能和模块可以根据实际需求进行单列或合并，但不得减少功能、�/p>