●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上，在核心部件、控制系统和结构设计上吸收国际一流产品技术精髓，开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶（树脂）件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，能够根据客户需求定制、�/p>

●形式：φ650-3500mm，箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统、�/p>

●真空系统：极限真空8X10-5Pa，主泵为复合分子泵低温泵扩散泵可选、�/p>

●真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规、�/p>

●工件架系统：客户需求定制，转�?�?0rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选、�/p>

●烘烤系统：不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，烘烤温�?00℃，温控精度1℃，过冲不超�?℃、�/p>

●电子束蒸发源：E型电子束蒸发源系统（E型）1-2套，主体有屏蔽罩，配置独立高压控制柜、�/p>

●旋转蒸发源：电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套、�/p>

●电阻蒸发源�?套电阻蒸发源。（选配（�/p>

●膜厚测试系统：配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统� RS-232 � USB兼容，匹配水冷膜厚探头、�/p>

●离子源辅助沉积系统：一套（选配离子源或高压离子轰击系统）、�/p>