●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜，过流部件均采用SUS304制造，真空系统后置，标准配置分子泵系统，标配工业级人机界面和西门子PLC系统，手动和自动模式自由切换，能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统、�/p>

形式：箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统、�/p>

●真空系统：极限真空5X10-4Pa，主泵为复合分子泵、�/p>

●真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规、�/p>

●工件架系统：客户需求定制，配置可扩�?英寸�?英寸�?英寸基片的专用互换工装，转�?�?0rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘成本较高、�/p>

●烘烤系统：不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，烘烤温�?00℃，温控精度1℃，过冲不超�?℃、�/p>

●电子束蒸发源：E型电子束蒸发源系�?E�?1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，配置独立高压控制柜、�/p>

●坩埚：坩埚1套，电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套、�/p>

●电阻蒸发源�?套电阻蒸发源。（选配（�/p>

●膜厚测试系统：配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统� RS-232 � USB兼容，匹配水冷膜厚探头、�/p>

●离子源辅助沉积系统：一套（选配离子源或高压离子轰击系统（�/p>

●控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业�?0英寸触摸屏和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警、�/p>

●说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设�?*匹配、�/p>