Axio Imager.Vario具有宽大样品空间，十分适合于半导体行业（比如太阳能电池、晶圆加工检测、平板显示器（FPD））成产的材料检测、工艺研发，以及在线检测、�/p>

技术参�?/strong>

1、物镜：5x�?0x�?0x�?0x�?00x（可�?.25x�?.5�?50x，可选LD功能）、�/p>

2、目镜：放大10x（可�?6x�?5x）；视场�?3（可�?5）、�/p>

3、物镜自动聚�?*行程�?mm、�/p>

4、样品空间深度（光轴到立柱的距离）；385mm、�/p>

5、载物台行程９�/p>

透反两用手动载物台，200mmX200mm移动范围：�/p>

反射光用手动载物台，300mmX300mm移动范围：�/p>

透反两用电动载物台，200mmX200mm移动范围：�/p>

透反两用电动载物台，反射光用�?00mmX300mm移动范围，透射光用�?00mmX200mm移动范围、�/p>

6、显微镜模块质量�?7.5�?0kg、�/p>

7、光源：12V100W卤素灯，智能化光路管理器，光强色温自动可调、�/p>

8、可扩展性：可选自动聚焦，可选透射光路、�/span>