日本HORIBA痕量气体在线分析�?/span>GA-370

GA-370用于空气分离和半导体工厂生产的高纯气体的质量管理，为气体生产设施的质量管理提供连续的，高灵敏度及高精确度的微量杂质（CO，CO2，CH4）监测、�/span>

一.高灵敏度的监浊�/span>

1.采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法＇�/span>NDIR），零点极其稳定，无漂移、�/span>

2.*小检测限＇�/span>MDL）为10 ppb，可支持需要高精度测量的应用、�/span>

GA-370痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中，电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中、�/span>

与气室中充满参比气体时的情况相比，当气室中充满样气的时候，样气中的CO�?/span>CO2以及CH4会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异，使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要，消除零点漂移，提高了灵敏度、�/span>

二．高纯气体中微量杂质的监测

可应用于典型平衡气体如：氮气，氧气，氦气，氩气，氢气和空气、�/span>

如有需要用于测量其他平衡气的情冴�/span>�我司、�/span>

三．操作简便，免维抣�/span>

1.操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作、�/span>

2.无需光学调整、�/span>

3.触摸式彩色液晶显示屏＇�/span>LCD）能够以图表方式显示历史数据、�/span>

四．典型应用

一般情况下，工业气体如氧气和氮气，是由空气分离设备制造的。将除去水分＇�/span>H20）和二氧化碳＇�/span>CO2）的原料空气通入分离装置，分离装置利用氮气（N2）、氩气（Ar）和氧气＇�/span>O2）三者沸点不同分离出不同气体。同样地，空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体，如氢气（H2）和氦气＇�/span>He）、�/span>

HORIBA皃�/span>GA-370痕量气体分析仪能有效测量分离后气体中的杂质，保证了气体质量、�/span>

五．在线分析�?/span>GA-370技术参�?/span>:

型号９�/span>GA-370

测量组分９�/span>CO� CO2咋�/span>CH4

高纯气体种类９�/span>N2＋�/span>O2＋�/span>He� Ar� H2� Air

测量组分数：1-2种（由平衡气体种类决定）

测量原理：交替流动调制型双光束非分散红外吸收法（NDIR（�/span>

量程９�/span>0｝�/span>1/2/5/10 ppm

检测下限：10 ppb

零点漂移：≤��0.02 ppm/�?/span>��?#177;0.03 ppm/�?/span>

量程漂移：≤��2% F.S./�?/span>��?#177;3% F.S./�?/span>

响应时间：≤180s

外形尺寸和重量：430(W)��221(H)��555(D) mm (不包括突出部刅�/span>)，约18 kg

电源９�/span>100｝�/span>240 V AC，≤��10% (不超电压９�/span>250 V AC)

日本堀场HORIBA痕量气体在线分析�?/span>GA-370中国技术服务中� 中文说明�?/span>