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KLA NanoFlip原位纳米压痕力学测试模块
NanoFlip纳米压痕仪可以提供您的材料研究实验室带来无限的便捷、/span>高性能多功能性是NanoFlip设计的标志,当需要进行成像集成,需要进行频繁的转换和广泛的样本控制时,无论是环境测量还是原位测试,无论有无真空,都能提供同样出色的结果、/p>
Fib2Test技术允许用户将样品倾斜90度,以便在双光束SEM内从FIB无缝过渡到压痕测试,而无需移除样品、/span>
设计为完全真空兼容,并且具有独特的样品触发功能,NanoFlip非常适用于现场环境,妁/span>SEM+/span>FIB和真空室,或者当您的实验带您迁移时,可以在任何情况下工作可以想象的成像系统,妁/span>AFM,光学显微镜和光?/span>Pro测量仪,为您提供几乎无限的成像选项、/span>
电磁执行器用亍/span>KLA生产的所有系统,包括NanoFlip、/span>这些执行器是坚固的线性装置,固有地解耦力和位移、/span>它们?*力为50 mN,分辨率丹/span>3 nN,超低噪声电流小亍/span>200 nN、/span>
NanoFlip的时间常数为20微秒,是**同时符合规格的商用纳米压痕仪?*压痕行程丹/span>50m,噪?/span><0.1nm,数字分辨率丹/span>0.004 nm,漂移率丹/span>< 0.05nm/s、/span>
为了确保业内*广泛?可靠的数据,NanoFlip能够实现0.1 Hz臲/span>1 kHz的动态激励频率、/span>
样品台移动,Z轴为25 mm+/span>X丹/span>20 mm+/span>Y轴为20 mm,分辨率丹/span>nm,可在大面积上精确定位样品、/span>
载荷框架刚度> 7 e5N/m
独特的尖端校准系统集成到软件中,可实现快速,准确和自动的尖端校准、/span>
可用的方法包,包含聚合物,薄膜和生物材料的提示,方法和标凅/span>
可用刮擦选项?*正常载荷丹/span>50 mN?*刮擦距离丹/span>2.5 mm?*刮擦速度丹/span>500m/ s、/span>
可选的NanoBlitz地形和层析成像软件,用于材料皃/span>3D咋/span>4D映射、/span>
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