KLA Gemini压痕力学测试系统

每时每刻用正确的答案对摩擦学进行突破性的改变

使用KLA公司皃�/span>Gemini系统探索新命令的准确性，精确度和控制，这是世界上**台用于研究纳米级摩擦学和机械测试动力学的多维仪器、�/span>

准确�?/span>- Gemini提供****的自由，可以在多个方面探索接触力学，因为它来�?/span>Nanomechanics，每次都对正确答案有强烈的信心、�/span>

精确�?/span>- Gemini的等轴测量轴实现�?***的分辨率力范围和动态性能，意味着正常轴和横轴都能提供KLA所期望的精确度、�/span>

控制-使用Gemini系统的多轴功能有效地解决了硬度，磨损和粘附问题，Gemini系统是以****的分辨率准确研究摩擦学问题的必不可少的工具、�/span>

摩擦�?/span>+

单一的粗糙表征，粘滑滑动 ＋�/span>超薄� ，润� ，阻� ，各向异� ，泊松比 ，模� ，耐刮擦� ，形� ＋�/span>MEMS测试 ＋�/span>附着劚�/span>

准确的多维测野�/span>

**个提供等距力位移测量的工具，用于研究硬度，摩擦学，磨损和粘附性、�/span>

优越的规栻�/span>

多维动态性能

宽负载和位移范围９�/span>50 mN咋�/span>50��m

张力或压缩：无过渠�/span>

快速时间常数：20��s，具有亚纳米级噪�?/span>

电磁激活：低漂移和动态精�?/span>

高载荷框架刚度：7e5 N / m

精确的属性测野�/span>

亚纳米分辨率的样品阶段补充了致动器，以产生高精度的靶向和压痕测量、�/span>

控制横向劚�/span>

测量准静态和动态模式下的力和位移，采用亚纳米和纳米牛顿分辨率、�/span>