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仪器介绍9/strong>
在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化、/span>
技术参数:
可实现快速、实时在线监测样品膜层变匕/span>
主要特点9/strong>
将激发和探测头引入生产设备,可实?
动态模弎实时监测膜厚变化
光谱模式:监测薄膜的界面和组刅/span>
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