仪器简介：电子束入射到样品上，即可用光学方法接收并分析阴极发光（CL），从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法，结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果，是纳米结构和体材料的独特分析工具、�/p>

Flex-CLUE是一款高性能的CL分析仪器，适用于广泛的应用领域。它基于光纤传输，是适用于有限空间的集成化系统、�/span>

主要特点９�/strong>� 光纤耦合

�高效CL信号收集

�扫描成像、线扫描、点测量

�多种光栅选项

�多种焦长光谱仪选项�?40mm-320mm

�光谱范围�?00nm-1000nm�?00nm-1700nm

重点应用领域９�/p>

阴极发光光谱仪（CL）是用来表征材料中的缺陷，元素和杂质追踪的强大分析工具，广泛适用于各个应用领域、�/span>

1、材料科�?/strong>

�半导体和光电材料

�介电/陶瓷

�氧化物膜

�玻璃

2、矿物、地�?/strong>

�碳酸�

�晶体

�金刚�

�锆石、方解石、白云石3、公守�/strong>4、生命科�?/span>

CL光谱及成像：

■CL光谱９�/strong>使用CL测量光谱时，可在电镜下观察并选择待测样品区域、�/span>	■快速CL成像９�/strong>将扫描电子束与您的光谱仪同步，提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品，测量中使用了超快SWIFTTM成像模式、�/span>
矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统，配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon� UPMC France提供数据	左图：使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1� Hyperspectral CL mapping 中图：电镜下的样品图像。figure 2� SE image 右图：对应的光谱，其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3� CL spectral (RGB)