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技术参数：
聚焦扫描式微区X射线光电子能谱仪
技术资
设备规格以及供货范围
A. 技术指
B. 安装设置要求
C. 供货范围
设备型号 PHI Quantera SXM
设备商标Scanning X-ray Microprobe?
生产地点 日本和美
检测项 指标
系统到达真空 <5x10-10 torr
Ag样品XPS光电子能量分辨率 Ag 3d 5/2 峰半高宽 FWHM < 0.50 eV
PET 样品XPS光电子能量分辨率 C1s的O=C-O峰半高宽 FWHM < 0.85 eV
*小X射线斑束 <9.0m 在x 方向
<9.0m 在y 方向
常用X射线斑束
<10.0 m @ <1.25 watts
<15.0 m @ <2.50 watts
<20.0 m @ <4.50 watts
X-ray XPS灵敏度和能量分辨 X-ray Beam Energy Sens. Size Res.
> 15kcps <10.0 m <0.60 eV
> 30kcps <15.0 m <0.60 eV
> 55kcps <20.0 m <0.60 eV
> 35kcps <10.0 m <1.00 eV
> 70kcps <15.0 m <1.00 eV
> 125kcps <20.0 m <1.00 eV
>3Mcps High <1.30eV Power Mode
离子 **电流 >5.0 A @ 5 kV
离子枪工作时候分析室内压 < 5x10-8 torr
主要特点９/strong>
B: 供货范围
PHI Quantera SXM Scanning XPS Microprobe
化学分析用全自动扫描X-射线光电子能谱仪
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